電 話：182-3519-9955
郵 箱：337618256@qq.com
地 址：太原市和平南路金諾信大廈
IPH半導體中度嚴苛系列
用途：
Etch，Implant，HDP-CVD，SACVD，MOCVD，PECVD，LPCVD，ALD
特點：
IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴苛制程。
它優(yōu)良的性能原自于轉子排氣路徑和優(yōu)越的轉子型線設計。
漢鐘獨特型線設計，上海，臺灣，制造。
較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式。
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。
優(yōu)化的尺寸，即插即用。
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地址：太原市和平南路金諾信大廈
